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产地：日本 在线咨询
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NTT-AT公司已提供了20 多年高质量XUV、EUV和X射线反射镜。尤其是利用本公司的丰富经验和出色技能，提供可定制设计的多层膜反射镜，满足各用户的需求。
1990年，NTT-AT公司开发了极紫外（XUV或EUV）多层反射镜和X射线反射镜并开始销售。并将亚洲、北美洲、南美洲和欧洲的大学、研究所和企业反馈的意见反映到这些反射镜的设计中。本公司将利用广泛积累的经验和可靠的技术支持用户的多层反射镜生产。
因为NTT-AT公司的多层反射镜质量高，所以一直被世界上的研究机构所选用。本公司定制多层材料和结构，满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。
同时也为包括EUV光刻的EUV工业应用提供成本低、交付周期短、质量稳定的多层反射镜。作为用户的研发伙伴，支持用户的EUVL光源开发、EUV光刻胶开发、EUV掩模检查和其它周边领域的实际利用。
基板形状：平面、凸形、凹形、抛物面、超环面、椭圆面基板材料：石英、硅、zero dewer等
多层膜材料：Mo/Si、Ru/Si、Zr/Al、SiC/Mg、Cr/C等
基板尺寸：φ3毫米至φ300毫米
NTT-AT公司将提供高耐用性XUV多层反射镜、耐高温XUV多层膜反射镜以及施瓦兹希尔德光学系统和泵浦探测光学系统等光学系统。
基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面
基板：石英、硅、zero dewer等
基板材料：W/B4C、W/C、Pt/C等
基板尺寸：**500毫米
NTT-AT公司提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等
基板形状：平面、椭圆面、抛物面、柱面、超环面基板材料：石英、硅、zero dewer等
多层材料：C、B4C、SiC、Ru、NbN、Pt等
基板尺寸：**500毫米
NTT-AT公司提供K-B反射镜系统、沃尔特反射镜等
本公司定制多层材料和结构，满足用户的基板、峰值波长、带宽和分散体等详细规格。还应对耐高温多层反射镜。利用同步加速器设备的反射率评估服务也可作为选项提供。世界上只有为数不多的公司生产和销售EUV反射镜。如果您不满意现在的供应商，NTT-AT公司能够制造满足您严格要求的定制设计反射镜。NTT-AT公司将推荐正确反映用户规格的**设计。
| 应用示例 | 基板材料 | 典型波长 | ||
|---|---|---|---|---|
| XUV（EUV） 反射镜 | EUV光刻 高阶谐波应用 阿秒科学 X射线激光器 | 多层反射镜 | Mp/Si Ru/Si Zr/Al SiC/Mg Cr/C | 50电子伏至100电子伏 50电子伏至100电子伏 50电子伏至70电子伏 25电子伏至50电子伏 至300电子伏 |
| 单层反射镜 | SiC Pt Ru | 10电子伏至100电子伏 | ||
| X射线反射镜 | 同步加速器应用 XFEL应用 内置X射线无损 检查设备 | 多层反射镜 | W/C W/B4C Ru/C Pt/C | 1k电子伏至30k电子伏 |
| 单层反射镜 | C B4C SiC Cr Ni | 1k电子伏至30k电子伏 |
NTT-AT公司已支持了许多同步加速器辐射应用、XFEL应用、包括阿秒科学和材料科学的高阶谐波应用、软X射线激光应用和天文学的实验和研究。NTT-AT公司的XUV多层反射镜的****的质量受到学术界的好评。
Φ10毫米平面反射镜 | 测量的Mo/Si多层的反射率 （正入射角：2度） |
用于泵浦探测试验的多层反射镜 | 测量宽带反射镜、 窄带反射镜（波长：30纳米）的反射率 |
EUV宽带椭圆面反射镜 （Φ100毫米zero dewer） | Mo/Si多层反射镜具有接近13纳米（90电子伏）波长的高反射率。NTT-AT公司的Mo/Si多层反射镜具有高达70％的正入射反射率。 NTT-AT的XUV反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。 |
用于K-B反射镜系统的多层反射镜 | W/B4C多层和W/C多层膜反射镜对硬X射线应用具有高反射率。为了有效反射和聚集硬X射线，必须**限度地缩小入射角的斜角。这需要较长的反射镜长度和较小的多层膜周长。 |
评估的反射率 （波长：0.154纳米，蓝色：测量的反射率，粉红色；计算的反射率，周期长度： 2.95纳米） | NTT-AT公司的X射线反射镜的材料、膜结构和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长、带宽和光学装置的需求。 |
带钌层的椭圆面反射镜 | 利用全反射的单层反射镜用于波束控制、光聚合和去除XUV至X射线范围内的无需波长。 NTT-AT公司的单层反射镜的材料和基板形状可以定制以满足用户有关中心波长和光学装置的需求。 |
