技术规格

(1)移动范围: X 轴驱动部: 100mm

电动立柱(垂直方向): 250mm

(2)Z 轴测量范围:1000μm(粗糙度时)、50mm（轮廓度时）

(3)直 线 度:粗糙度时(0.05+1.0L/1000)μm ，L:测量长度 (mm)

轮廓度时1μm/100μm

(4)测量精度(轮廓): Z 轴(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2H│/100)

μm Z 轴分辨率 0.1μm/50mm

X 轴(横方向)指示精度±(1+2L/100)μm ，L=测量长度（mm）

粗糙度精度:X 轴分辨率0.1μm

(5)粗糙度解析项目:测量参数 (JIS ，ISO，DIN，ASME，CNOMO 等标准)

评价曲线 (断面曲线，粗度曲线，波纹度曲线等)、特性图形 (负荷曲线，

振幅分布曲线等)

(6)记录倍率: 纵倍率(粗糙度用) 50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等

及自动

横倍率(粗糙度用) 50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自动

纵倍率(轮廓用) 0.01～10，000，000 倍(任意，自动可)

横倍率(轮廓用) 0.01～10，00，000 倍(任意，自动可)

(7)滤波种类:标准型滤波(2CR)，位相补偿滤波(2CR)，高斯滤波.

(8)取样长度:0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8，25mm(7 种)及任意.

(9)驱动速度:粗糙度0.03～3mm/s ;波纹度 0.03～20mm/s

(10)传感器: 差动变压式原理和光栅尺

(11)轮廓处理功能: 点，直线，部分园，椭圆，**点，*小点，距离，坐标

差，极坐标差，直交/极坐标表示.公差要素(点-直线，直线-直线，圆-圆，

直线-椭圆，圆-椭圆 等)。 对称要素(点-点，点-圆，直线-直线，圆-圆，

圆-椭圆，椭圆-椭圆) 原点设定，X 轴设定，坐标系的平行移动/回转移动

等等

(12)其他相关参数详见产品样本(相关参数以样本为主).