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快速检测,快速行动
微电子和半导体检查系统 DM3 XL
检测速度在微电子和半导体行业的检查、过程控制或缺陷和故障分析中至关重要。您发现缺陷的速度越快,您可以做出更快的反应。
大视野——视野增加30%
DM3 XL检测系统视野开阔,可让您的团队更快地发现缺陷并提高合格率。利用独特的宏观物镜增加的30%视野。
视野更大,效率更高
看到更多意味着更快地工作。为了快速扫描6英寸以下的大型组件,DM3 XL提供了独特的微距物镜。
放大倍数为0.7倍,它可以立即捕获35.7毫米的视场-比其他常规扫描物镜大30%。
有了宏观目标,缺陷就没有机会了:
提高产量
可靠地检测到晶圆边缘或中心的显影不足
检测不均匀的径向膜厚度
LED适用于所有对比方法
DM3 XL将LED照明用于所有对比方法。LED照明提供恒定的色温,并提供所有强度级别的真实彩色成像。
在所有强度级别上逼真的彩色成像
免调整
无需更换灯泡-无需停机
可重复的结果
由于使用寿命长且功耗低,LED还具有巨大的成本节省潜力。
光学高性能
使用DM3 XL,您可以以可承受的价格享受**的光学效果。
用倾斜照明检查侧面,边缘或碎片:从不同角度照亮样品,这是可视化地形图的简便有效方法。
通过深入的暗场对比度检测样品下层中的微小划痕或小颗粒。
灵敏度和分辨率的急剧提高会让您震惊。
各种样品–可变台插入
无论您要检查哪种样品大小和样品类型,都可以从各种载物台中进行选择:
载物台尺寸:150毫米x 150毫米
舞台插件:金属插件,晶圆支架或掩模支架
快速粗台或精台定位
舒适直观地工作
彩色编码膜片助手(CCDA)简化了分辨率,对比度和景深的基本设置,有助于加快工作速度并减少操作错误。
简单直观的功能使您的团队可以更快地提供可靠的结果。
借助易于触及的控件,可在切换对比度或照明时将手放在显微镜上,将眼睛放在样品上
用右手轻松操作光强度控制器
使用可变的ErgoTubes和聚焦旋钮将显微镜调整到不同的身高