Resmap 273

在178型的技术基础上，ResMap273是半导体行业首款30毫米桌面四点探针仪。273型扩展了ResMap原来一些产品的性能，实现了太阳能对210毫米大型衬底的要求。外形小巧，坚固耐用，准确性和重复性好。

提供NIST标准片6片!

产品特点：操作简单、快速精确

电阻测量范围：1 mΩ/?? - 5 MΩ/??

典型应用：非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等

美国CDE**技术: 可针对材料(不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件，对下针状况**化。而此功能是可由软见操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻烦的硬件调整。

美国CDE**技术: 可针对材料(不同材料、软硬薄膜或离子植入深或浅等条件，对下针状况**化。而此功能是可由软见操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻烦的硬件调整。

测试性能指标：

探针材料 WC

探头寿命> 500W次

Resmap168，178，273区别：

四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要较准；有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法较准。

与四探针法相比，传统的二探针法更方便些，因为它只需要操作两个探针，但是处理二探针法得到的数据却很复杂。如图一，电阻两端有两个探针接触，每个接触点既测量电阻两端的电流值，也测量了电阻两端的电压值。我们希望确定所测量的电阻器的电阻值，总电阻值：

RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT；

其中RW是导线电阻，RC是接触电阻，RDUT是所要测量的电阻器的电阻，显然用这种方法不能确定RDUT的值。矫正的办法就是使用四点接触法，即四探针法。如图二，电流的路径与图一中相同，但是测量电压使用的是另外两个接触点。尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压，但由于电压计的内阻很大，通过电压计的电流非常小，因此，导线电压与接触电压可以忽略不计，测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值。

四探针法通过采用四探针法取代二探针法，尽管电流所走的路径是一样的，但由于消除掉了寄生压降，使得测量变得精确了。四探针法在Lord Kelvin使用之后，变得十分普及，命名为四探针法。

成功案例-美国CDE四探针测试仪

感谢以下客户购买美国美国CDE四探针测试仪

作为半导体行业四探针测试仪测试标准之一，购买美国CDE 四探针测试仪的单位非常多。

*近购买用户

科研客户：清华大学，天津大学，浙江大学中山大学浙江师范大学?复旦大学 北京师范大学 河北大学。。。。。。

企业客户：上海超日太阳能 卡姆丹克太阳能南玻光伏荣马新能源山东润峰电力 江苏腾晖电力 晶澳太阳能海润光伏常州比太苏州阿特斯西安隆基 高佳太阳能江西旭阳雷迪 无锡尚德 武汉珈伟光伏 苏州中导光电 常州天合。。。。。。

不能一一列举敬请谅解