四探针探针头

Jandel公司生产的具有6个连接通道的cartridge型四探针探头.其创意设计是与CDE系统相兼容.

所有jandel公司生产的探头具有非常高的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪来验证规范探针半径曲率、间距以及平面性（平面度/平整度）， 其负荷是通过电子测力计来验证。并且每个探针都通过带有宝石导向针进行上下移动。

虽然该探头与KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探头非常的相似，但是这俩个探头之间并不能替换，且要小心的保护它们，尤其是当俩个系统同时使用时.CDE兼容的探头有一个独特的黑色物镜转换器。