产品特点：

? 400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。

? 自动变更反射测量角度，可得到更详细的薄膜解析数据。

? 采用正弦杆自动驱动方式，展现测量角度变更时优异的移动精度。

? 搭载薄膜分析所需的全角度同时测量功能。

? 可测量晶圆与金属表面的光学常数(n:折射率、k:消光系数)。

产品规格：