产品特点：

? 自由搭配的光纤架构，可安装于生产线上、半导体晶圆研磨设备或真空镀膜设备中。

? 远端同步控制、高速多点同步测量等。

? 丰富多样的光学系统套件与应用软件，提供特殊环境下*理想的膜厚解决方案。

产品架构：

? 半导体晶圆面内分布测量

? 玻璃基板面内分布测量

? 即时性量测

? 输送方向的定点品质管理

? 对应真空环境之设备

? 即时性测量

? 输送方向的全面品质管理