罗茨泵组 CombiLine系列

罗茨泵组用于中低真空环境，并提供高抽速，尤其在过渡范围内。

CombiLine 代表了各种罗茨泵组，特点是将前级泵、抽速和配件区别开。它是针对高要求工艺（例如电子束焊接、冷冻干燥模拟室）的定制化解决方案。

标准 CombiLine 泵组

• 配备单级 HenaLine 旋片泵的 CombiLine WU 罗茨泵组

• 配备两阶段 DuoLine 旋片泵的 CombiLine WD 罗茨泵组

• 配备 HeptaDry/UniDry 干式压缩泵的 CombiLine WH 罗茨泵组

干式罗茨泵站 （CombiLine WH）

普发真空提供干式罗茨泵站，将罗茨泵与多级前级泵相结合。该泵站的高抽速使得较高的极限压力成为现实。

干式罗茨泵站是面向高要求工艺（例如半导体行业）的一流解决方案。减少了保护设备的泵站可用于需求稍松的工艺，例如装载互锁应用，或在溅射工艺中用作前级泵。从小真空室到太能阳技术**吞吐量和显示面板制造，我们都可以提供解决方案。

优势

• 干燥无油的吸入室

• 这些解决方案提供了**泵容量和高可靠性。

应用

• 镀膜

• 冶金

• 真空干燥

• 脱气

• 光伏

• 研发

• 化学工业

油润滑罗茨泵组 （CombiLine WU / CombiLine WD）

普发真空提供罗茨泵组，将传统罗茨泵与油润滑旋片泵相结合。这些泵组提供良好的真空度，同时有较高的抽速。将旋片泵与罗茨泵结合以获得泵组，这种方式可谓经典解决方案，可以实现真空室的快速排空和中高真空下的工艺气流传输。对于许多行业工艺而言，使用油封前级泵仍然是**的选择，因为就购买价格以及产品生命周期成本而言，它代表了*耐用和**成本效益的解决方案。

优势

• 从*基本的泵系统到*全面的泵系统，一应俱全

• **泵容量和高可靠性

应用

• 装载互锁

• 镀膜

• 冶金

• 研发

• 一般工业应用

抽速对比

CombiLine WU

CombiLine WD

CombiLine WH