普发真空技术(上海)有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:德国
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  • 详细介绍:


    • 稳健性工业设计(Robust Design)和经过实践证明的高可靠性轴承系统。

    • 紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。

    • 高气流量和高抽速。

    • 可任意角度安装。

    • 防护等级IP54符合工业环境应用要求。

    • 可应用于腐蚀性气体工况。

    • SEMI S2 和 UL认证。

    • 完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。

    • 更长时间维护保养时间。

    • 可现场更换轴承。

    Bearing

    轴承

    Hybrid
    Compression ratio for Ar

    氩气压缩比

    > 1 · 1011
    Compression ratio for H2

    氢气压缩比

    1.4 · 105
    Compression ratio for He

    氦气压缩比

    1.3 · 107
    Compression ratio for N2

    氮其压缩比

    > 1 · 1011
    Cooling method, optional

    冷却方式,选择性

    Air/water
    Cooling method, standard

    冷却方式,标准

    Convection
    Cooling water consumption

    冷却水耗量

    75 l/h
    Cooling water temperature

    冷却水温度

    5-25 °C | 41-77 °F | 278-298 K
    Electronic drive unit

    控制器

    with TC 110
    Flange (in)

    法兰(进)

    DN 63 ISO-K
    Flange (out)

    法兰(出)

    DN 16 ISO-KF / G 1/4"
    Fore-vacuum max. for N2

    氮气**前级真空

    22 hPa | 16.5 Torr | 22 mbar
    Gas throughput at full rotational speed for Ar

    氩气全转速时的气流量

    0.54 hPa l/s | 0.4 Torr l/s | 0.54 mbar l/s
    Gas throughput at full rotational speed for H2

    氢气全转速时的气流量

    15.3 hPa l/s | 11.48 Torr l/s | 15.3 mbar l/s
    Gas throughput at full rotational speed for He

    氦气全转速时的气流量

    2.7 hPa l/s | 2.02 Torr l/s | 2.7 mbar l/s
    Gas throughput at full rotational speed for N2

    氮气全转速时的气流量

    1.3 hPa l/s | 0.98 Torr l/s | 1.3 mbar l/s
    Interfaces

    接口

    RS-485, Remote
    Mounting orientation

    安装方向

    in any orientation
    Operating voltage

    运行电压

    24 (± 5 %) V DC
    Permissible magnetic field max.

    容许的**磁场

    3.3 mT
    Protection category

    防腐等级

    IP 54
    Pumping speed for Ar

    氩气抽速

    66 l/s
    Pumping speed for H2

    氢气抽速

    48 l/s
    Pumping speed for He

    氦气抽速

    58 l/s
    Pumping speed for N2

    氮气抽速

    67 l/s
    Rotation speed ± 2 %

    旋转速度 ± 2 %

    90000 min-1
    Rotation speed variable

    可变旋转速度

    50-100 %
    Run-up time

    启动时间

    1.7 min
    Sound pressure level

    声压级

    ≤ 48 dB (A)
    Ultimate pressure according to PNEUROP

    根据PNEUROP的极限压力

    < 1 · 10-7 hPa |< 7.5 · 10-8 Torr |< 1 · 10-7 mbar
    Venting connection

    排气连接件

    G 1/8"
    Weight

    重量

    2.4 kg | 5.29 lb

    Pfeiffer vacuum涡轮分子泵 Hipace80尺寸

    Pfeiffer vacuum涡轮分子泵Hipace80抽速