普发真空技术(上海)有限公司
高级会员第2年 参观人数:72595
  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:德国
    在线咨询
  • 详细介绍:


    • 稳健性工业设计(Robust Design)和经过实践证明的高可靠性轴承系统。

    • 紧凑型结构以满足更小的物理空间安装需求。

    • 高气流量和高抽速。

    • 可任意角度安装。

    • 防护等级IP54符合工业环境应用要求。

    • 可应用于腐蚀性气体工况。

    • SEMI S2 和 UL认证。

    • 完整的配件系统扩展了潜在客户的需求。

    • 更长时间维护保养时间。

    • 可现场更换轴承。

    Bearing

    轴承

    Ball bearing 球轴承

    Compression ratio for Ar

    氩气压缩比

    2.5 · 107

    Compression ratio for H2

    氢气压缩比

    3 · 102

    Compression ratio for He

    氦气压缩比

    3 · 103

    Compression ratio for N2

    氮其压缩比

    3 · 106

    Cooling method, standard

    冷却方式,标准

    Convection 对流

    Electronic drive unit

    控制器

    with TC 110

    Flange (in)

    法兰(进气

    DN 25

    Flange (out)

    法兰(出气)

    DN 16 ISO-KF / G 1/8"

    Fore-vacuum max. for N2

    氮气**前级真空

    25 hPa | 18.75 Torr | 25 mbar

    Gas throughput at full rotational speed for Ar

    氩气全转速时的气流量

    0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s

    Gas throughput at full rotational speed for H2

    氢气全转速时的气流量

    2.78 hPa l/s | 2.08 Torr l/s | 2.78 mbar l/s

    Gas throughput at full rotational speed for He

    氦气全转速时的气流量

    0.48 hPa l/s | 0.36 Torr l/s | 0.48 mbar l/s

    Gas throughput at full rotational speed for N2

    氮气全转速时的气流量

    0.37 hPa l/s | 0.28 Torr l/s | 0.37 mbar l/s

    Interfaces

    接口

    RS-485, Remote

    Mounting orientation

    安装方向

    in any orientation 任意方向

    Operating voltage

    运行电压

    24 (± 5 %) V DC

    Particulate matter

    颗粒物

    yes

    Permissible magnetic field max.

    容许的**磁场

    3 mT

    Protection category

    防腐等级

    IP 54

    Pumping speed for Ar

    氩气抽速

    11.5 l/s

    Pumping speed for H2

    氢气抽速

    3.7 l/s

    Pumping speed for He

    氦气抽速

    6 l/s

    Pumping speed for N2

    氮气抽速

    10 l/s

    Rotation speed ± 2 %

    旋转速度 ± 2 %

    90000 min-1

    Rotation speed variable

    可变旋转速度

    50-100 %

    Run-up time

    启动时间

    0.9 min

    Sound pressure level

    声压级

    < 50 dB (A)

    Ultimate pressure according to PNEUROP

    根据PNEUROP的极限压力

    < 5 · 10-5 hPa |< 3.75 · 10-5 Torr |< 5 · 10-5 mbar

    Weight

    重量

    1.8 kg | 3.97 lb

    Pfeiffer vacuum涡轮分子泵 Hipace10尺寸

    Pfeiffer vacuum涡轮分子泵Hipace10抽速