技术规格：
- 多矩形阴极;
- 射频或直流溅射(RF， DC);
- 基底尺寸：30cm x 40cm;
- 沉积时衬底振荡;
- 常用于ITO， AZO等膜层的沉积;
- 均匀性：优于5% (沉积TCO或金属薄膜);
