技术参数：我们提供多种口径的圆形平面靶枪，尺寸1"， 2" and 3". 以及矩形靶枪

安装法兰口径：NW63CF，NW100CF

真空腔体内长度范围：150-400mm

真空腔体内端面直径：60-96

靶材直径： 1"， 2" and 3"

靶材**厚度：4-6mm

冷却：水冷

特点：

100%超高真空（UHV）应用

独有的放射性沉积模式

在线Z轴驱动及倾斜

水冷时不会存在水汽

平衡靶和非平衡靶设计

高强度磁体应用于磁性材料

应用领域：

PVD沉积

金属涂层

纳米结构薄膜

多层镀层

反应溅射

射频溅射，直流溅射，脉冲直流溅射

硬质涂层