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台式磁控溅射仪
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原子层沉积系统
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金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)
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三腔室互相传递PVD系统
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超高真空多功能薄膜制备系统(磁控溅射、电子束蒸发)
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瑞士Digitel DH-77气溶胶采样器
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瑞士Digitel DPA96小流量气溶胶采样器
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瑞士Digitel nucleAIR放射性气溶胶采样器
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PECVD+RIE等离子体增强化学气相沉积和反应离子刻蚀系统
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反应离子刻蚀机(美国产,高性价比)
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