PhenomPro台式扫描电镜 专业版

—— 智能、高效、多功能

? 放大倍数：20×-100，000×

? 分辨率：优于17nm

? 电子枪：1500小时CeB6灯丝

? 抽真空时间：10秒

? 样品移动方式：自动马达样品台

? 样品定位方式：光学和低倍电子双重导航

? 样品导电性要求：无需喷金，直接观测绝缘体

? 拓展功能：3D粗糙度重建、纤维统计测量，高倍拼图等

? 环境扫描选件（ESEM）：温控样品台，可直接观测液体

表面细节丰富的高分辨率照片

Phenom Pro 为您提供高信噪比、表面细节丰富的优质图像：

? 20×-100，000×连续放大，分辨率优于17nm，大景深；

? 信号较少的钨灯丝电镜通过提高加速电压来产生更多信号，密度较小的样品会因为电子穿透过深而导致表面细节缺失。信号是钨灯丝10倍以上的CeB6在低

电子穿透深度浅，避免样品被破坏，展现更多表面细节；

? 探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息；

左图：5kV低加速电压下，电子反应区位于样品表面，配合高亮度CeB6灯丝，既保证了分辨率，又得到样品表面的信息；

右图：15kV高加速电压下，电子穿透深度较深，表面细节丢失

CeB6灯丝在样品表面单位面积内激发的信号约是钨灯丝的10倍，适合于低加速电压观测

表面形貌和成分信息同时展现

背散射电子的产率、出射角度与样品成份及表面形貌相关。Phenom采用4分割半导体背散射电子探测器，为您提供两种成像模式，模式之间可迅速切换：

? 成份模式：同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其灰度对比度的不同加以分辨

? 形貌模式：去除成份信息，样品表面凹凸起伏等微观结构更加明晰，适用于表面粗糙度和缺陷分析

成份模式4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加

形貌模式4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消

成份模式图像包含样品成份与形貌信息

形貌模式图像仅突出样品表面形貌特征

**样品杯，30秒快速成像

Phenom**样品杯、低真空设计、**的真空封锁技术，装入样品后30秒内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右。

直接观看绝缘体，无需喷金

Phenom采用低真空技术，出射电子与空气分子碰撞产生正离子，正离子与样品表面累积的电子中和，有效抑制荷电效应的产生，直接观测各种不导电样品（如下图所示）。

利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右，而且不会影响灯丝寿命，下图头发示例：

操作简便，全程导航

? 自动/手动聚焦

Phenom操作界面。通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。界面右侧显示光学导航和低倍SEM导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。

? 自动/手动亮度

? 自动/手动对比度

? 自动灯丝居中调节

? 自动马达样品台

? 光学/电子样品导航

光学导航，所有带观测样品尽在视野之中，高倍下准确切换样品，只需点击感兴趣样品，即可自动移动到屏幕中央

低倍SEM照片导航，导航窗口中的彩色矩形框指示了住观测窗口的观测区域，点击感兴趣的区域，自动移动到样品中央。

环境适应性高，完全防震

Phenom可以放置在几乎所有的室内环境当中，无需超净间。采用灯丝、探测器、样品台相对一体化的设计，震动不会引起三者间的相对运动，使Phenom成像不受震动影响，可放置在较高楼层。

互联网远程检测

Phenom拥有远程检测功能，通过网络，专业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难，为您提供全方位的保护，让您的Phenom随时处于**工作状态。

丰富的拓展功能选件

适用于不同领域的样品杯选件