原位液氮TEM-STM低温电学样品杆

系统组成：

• 原位液氮TEM-STM低温电学样品杆，温控仪，电学测试控制器。

基本参数指标：

• 变温范围为85K-380K，温度稳定性由于±0.1K。

扫描探针操纵指标，室温下：

• 粗调进针范围： XY方向3mm，Z方向1.5mm

• 细调扫描范围：XY方向20um，Z方向2um

• 细调分辨率： XY方向0.2nm，Z方向0.04nm

透射电镜结构分辨率：

• 全温区优于0.2nm