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NextScan飞秒激光多面扫描镜
报价:面议
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产地: 比利时
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产品介绍

多面扫描镜(Polygonal Scanners),可实现大范围、高精度、超高速、高重复性的激光光束扫描。相比振镜扫描,多面扫描镜具有更快的扫描速度且具有更高的损伤阈值。

多面扫描镜(Polygonal Scanners)系统:提供不同扫描宽度,不同工作波长和聚焦光斑尺寸,可满足您对再现性和准确性的要求。

集成的远心平面镜片实现了紧凑型一体化即用型的扫描头,可以实现高性能及高效率的微加工要求。

备有通用型的控制器,易集成于线性平台和卷式行业标准运动控制系统中。系统接口可以兼容传统激光和脉冲激光。另外,模块化的设计可以按照客户需求进行快速定制。

所有扫描头都配备通用接口,控制器通过以太网控制。能多面扫描镜系统

High Performance Polygon Scanner Systems

规格参数:

Optical specifications光学规格

Standard标准规格

Scan width扫描宽度

300 mm

170 mm

Wavelength波长(nm)

355-375

515-532

1030-1070

Minimum Spot*小光斑尺寸(FWHM)1

9 μm

13 μm

26 μm

Minimum Spot*小光斑尺寸(1/e2 dia)

15 μm

22 μm

44 μm

Input beam diameter(1/e2 dia)

输入光斑直径(1/e2 dia)

11 mm

6 mm

Input clear aperture输入数值孔径

19 mm

10 mm

Position Accuracy定位精度

± 10 μm or ±1 μm 2

Line straightness线平直度

15 μm or 1 μm 2

Spot repeatability光斑重复性

< 3 μm 3

System specifications系统规格

Input beam输入光斑

Parallel beam

Scan speed扫描速度

56 – 224 lines per second

100 – 400 lines per second

Moving spot speed光斑移动速度

25 – 100 meters per second

Scanner mechanical efficiency

扫描头机械效率效率

71 %

Optical efficiency光学效率

> 85 % GR/IR

Average Laser power 1平均激光功率

140 W (>7 ps) 50W (200 fs)

Minimum pulse width*小脉冲宽度

> 200 fs

Maximum pulse energy*小脉冲能量

150 μJ (ps) 50 μJ (fs)

Mechanical interface机械接口

Industry standard interface

Scanner to substrate clearance

扫描头到基板距离

26.5 mm

18 mm

Power consumption功率

125 W max.

Electrical supply电源

Mono + earth 50/60 Hz, 100-240 VAC

PC Connection电脑链接

Ethernet TCP/IP protocol and USB3

Cable Length连线长度

Max. 5 meter between scanner unit and control electronics

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聚擘国际贸易(上海)有限公司为您提供NextScan飞秒激光多面扫描镜,NextScan飞秒激光多面扫描镜产地为比利时,属于光学仪器及设备,除了NextScan飞秒激光多面扫描镜的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供BTU回流焊炉、时间分辨光致发光瞬态光栅光谱仪、DAGE X光检测系统Quadra 5。
工商信息
企业名称

聚擘国际贸易(上海)有限公司

企业类型

信用代码

91310000321628149N

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