维克特锐(北京)科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:北京
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  • 详细介绍:


    微波材料学工作站--微波等离子化学气相沉积系统

    主要用途:

    该系统既可用作传统的化学气相沉积设备,又可用作微波能化学气相沉积设备,同时又是微波等离子化学气相沉积设备

    主要为应用在半导体大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域

    该款具有高电离、高电子温度和电子密度、适用压强范围宽、无内部电极污染等优异性能,微波等离子体在材料表面处理、金刚石薄膜制备、化学气相沉积、刻蚀以及甲烷转化制氢、长余辉发光材料、陶瓷烧结、碳纳米管修饰[3]、纳米粉体合成、处理水污染等领域

    产品特点:

    垂直反应器的设计可使等离子高密度;对称的微波发生器装置,使产生的等离子环境更均匀

    谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定性高,且不与真空器接触,从而避免了器壁对薄膜的污染

    操作便捷:气路连接方式采用了KF快速连接法兰结构,使取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作,取消了复杂的法兰安装过程,减少了安装造成的损坏

    多功能:4种加热方式可选可变:微波等离子、纯微波、传统电加热、混合加热;适应包括金属与合金在内非易燃的任何样品的热处理

    双温区结构:上部等离子区或加热区下部样品台加热区

    **开发的微波场专用传感器,精准控温

    安全:**采用防止泄漏的联锁保护屏蔽措施安全可靠的微波屏蔽腔体设计,多重防泄漏保护

    *标配装有专业微波抑制器

    *内置微波泄漏传感器

    节能:使用寿命长:磁控管微波加热,避免和解决了传统的加热丝、硅碳棒、硅钼棒等加热元件容易损坏的问题,也避免了因加热元件损坏而造成的时间、实验进度、维修费用等各种损失

    采用无级可调、高稳定度长寿命、连续波微波源,确保设备能够连续稳定长时间运行

    嵌入式微机一体化温度控制系统实现稳定性控温

    无须烘炉过程:炉腔整体自身发热,加热均匀

    微波能量即开即有无热惯性易于控制温度

    配有万向轮调节底脚,方便移动和固定

    技术参数:

    型号/model

    WBDQC-4

    可加热材料

    非易燃易爆的任何材料

    微波频率

    2.45GHZ±50MHz

    加热方式

    等离子加热、纯微波加热、传统电加热、混合加热

    **功率/ KW(连续、可调)

    4

    样品腔长度

    标配100mm可根据用户需求订制

    加热样品腔(材质)

    石英管(微波等离子工作模式)

    石英管&刚玉管(其它加热方式)

    控温范围/

    1100℃石英样品腔直径:Φ45mm、Φ60mm、Φ100 mm 可选;

    1500℃刚玉样品腔直径:Φ45mm、Φ60mm 可选;

    温度测试元件

    微波场专用传感器

    温度分辨率/

    0.1

    样品台**温度范围

    室温-1200℃、更高温度可选配

    控温精度/

    1200℃以下±11200℃以上±2

    温度偏差/

    温度稳定波动度/

    冷却方式

    风冷

    恒温区长度/mm

    标配100mm可根据用户需求订制

    升温速率(标配)

    0200/min(微波等离子工作模式除外)

    任意设定,可编程、分段加热

    温度控制方式

    10段可设工艺参数,7寸触摸屏操作,带数据存储功能;提供手动、自动、恒温控制模式,曲线实时显示

    控制气体

    控制气体:H2CH4ArN 2 、其它气体可选

    流量控制

    标配 2 套质量流量控制器:七星华创(真空保护阀门后置,匹配真空模式);精度:0.8%

    **耐压

    1MPa;控制响应时间:10ms

    真空系统真空泵

    RVP2008;压力范围:10 -3 Torr~760 Torr

    **抽速:8.5m 3 /h

    真空计

    数显真空计:1atm-10 -1 Pa

    标配

    质量流量自动控制系统配备控制计算机及控制软件,可以内置实时显示和保存生长参数

    气路其他配置

    气柜、气路及阀门等

    端口

    不锈钢 KF50 法兰接口

    电源电压(V

    220

    微波泄漏量/ mW/2

    0.4

    外型尺寸(长高)/mm

    1100×750×1900

    选配功能:

    质量流量控制系统;美国Alicat质量流量&控制器