功能特点

专为Instec真空热台的应用设计

可用于先真空再充气氛的实验应用

整体式真空阀门箱，精简真空管道的布置

真空度可达 10^(-3) mBar （0.1 Pa）

附赠一个指针式真空计，便于阀门操作时了解真空度

产品参数

真空度

10^(-3) mBar （0.1 Pa）

真空接口

宝塔接口 x5

KF16接口 x1 （连真空计）

应用

1. 热台腔体抽真空

2. 热台腔体先抽真空再充气氛

附赠

指针式真空计

典型应用操作

使用真空阀门箱进行“先抽真空再充气氛”的应用。

Step1. 为热台抽真空。保持阀门V1、V2的关闭，打开阀门V3，开始对热台抽真空；

Step2. 为热台通气氛。关闭阀门V3，而后打开阀门V2，开始为热台通入气氛；

Step3. 排出废气。关闭阀门V2，而后打开阀门V1，为热台排出废气。