机种

UTS-2000

测量方式

FT/IR 干渉膜厚测量法

测量配置

反射、透过（选配）

样品尺寸

20 × 20 ～ 1200 × 1200μm

显示器

内置CMOS相机确认测量位置

　●测量范围／精度

测量膜厚范围

0.25μm～750μm（Siの場合）

测量膜厚再现性

0.005μm以下 (同一点繰返し測定時、Si の場合)

　●XY样品台

距离

200mm×200mm

驱动分辨率

2μm

　●数据处理部

对应OS

Windows 7 Professional

控制装置

JASCO光学管理器控制光学系统／控制XY样品台／控制搬送机（选配）