赛福国际集团有限公司
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    型号:
    产地:北京
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  • 详细介绍:


    CIF紫外臭氧清洗机

    外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。

    CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调并可选加热控温,以便达到清洗效果。

    产品特点

    u 可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制

    u 数字显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间

    u 任何时间可以手动中断处理过程

    u 自动记录之前清洗参数设置

    u 样品台可控温(可选),控温范围RT-260℃控温精度0.1℃

    u 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便

    u 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,位置可锁定

    u UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时

    u 高强度UV灯源波长185nm和254nm

    u UV反射罩(长X宽)UV格栅灯大2.5cm比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm

    u 双重安全保护当清洗腔打开时,系统安全锁会关掉UV灯,并有灯光通断提示

    u 带进&出气口双气路设计可接入氧气,增加臭氧产量

    u 可选臭氧中和器,用于臭氧清除。

    u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔

    技术参数

    产品型号

    UV灯尺寸cm

    样品台高度cm

    主机重量kg

    外型尺寸(LxWxH)cm

    UVO5/UVO5P/UVO5T

    13x13

    10cm内可调

    6

    31x26x20

    UVO9/UVO9P/UVO9T

    23x23

    10cm内可调

    12.5

    60x50x20

    注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度不可调UVOP可选样品台加热功能,样品台高度可调UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调