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Film Sense FS-1™ 多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动 式部件椭偏探测器,可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现快速和可 靠地薄膜测量。
大多数厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要简单的 1 秒测量,就 可以获得非常精密和准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常 数和其他薄膜特性。
FS-1 这款功能强大的多波长椭偏仪,售价只是单一波长椭偏仪
和光谱椭偏仪的中等水平。FS-1 可应用于研究实验室,超净间,原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域
主要特点
? 4 个 LED 光源:蓝色(465nm),绿色(525nm), 黄色(580nm),红色(635nm)
? 椭偏仪探测器中无可移动部件
? **的膜厚精密性,大多数样品精密度优于 0.001nm(1 秒获取数据),对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm
? 集成计算机,可实现对设备控制和数据分析,自带 浏览器界面,可兼容任何现代计算机,笔记本或平 板电脑
优势
? 寿命长(长达 50,000 小时),更换 LED 灯便宜,校准时 间短或无需 PM 程序
? 快速测量(10ms 内获得多波长数据)和长期性能稳定
? 测量精确,只有椭偏仪可以实现
? 软件设置和维护简单
标准 FS-1 配置
? 65°入射角
? 手动放置样品和调节高度
? 样品尺寸**直径 200mm 和厚度 23mm
? 样品偏转范围+/-20
? 样品上光束尺寸 5 x 12 mm
? 结构紧凑(180 x 400 mm) 和轻巧(4.8 kg)
性能
FS-1 多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围 0-1000nm 的透明单一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品,包括多 层膜样品,FS-1 获得的标准测量精密度和准确性数据。