体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

*气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降

*操作使用方便，可任意位置安装