迈可诺技术有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:美国
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  • 详细介绍:


    台式小型机,PLC人机自动控制,简单易用,适用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、蚀刻、活化等工艺。

    提供三种功能配置:

    1. 常规的等离子清洗和等离子刻蚀

    2. 反应离子刻蚀(RIE)

    3. 可转换结构(包含可以进行各向同性和各向异性的等离子工艺)可拆卸的托盘构造。

    等离子刻蚀机技术参数:

    设备型号:PE-100

    腔体尺寸:长方形腔体,长度305 x深度368 x高度305mm;

    腔体材质:T-6铝合金一体成型;

    腔体容积:34升;

    射频电源:13.56MHz;0~300W自动调节;

    工作压力范围:1-2000 mT;

    气体流量控制:0-50cc/min带精密针阀;

    皮拉尼真空计: 0-1Torr;