迈可诺技术有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:荷兰
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  • 详细介绍:


    真空快速退火炉AS-One

    AS-One是一种通用的RTP系统,可用于开发快速热退火和快速热CVD工艺。

    可以搭配分子泵实现高真空下热处理工艺。

    **温度1500 ℃,*快升温速率200/Second

    全程PC软件控制升温程序,保证温度不过冲,控温精度准确。

    应用:

    RTA(快速热退火)

    RTO(快速热氧化)

    欧姆接触退火

    植入退火

    石墨烯和hBN的快速热化学气相沉积RTCVD

    硒化,硫化

    结晶和致密化

    产品特点:

    1红外卤素灯管加热,冷却采用风冷(低噪音水平,无需压缩空气);

    2、加热由功率控制而非电压控制,避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题,保证了良好的重现性及均温性,即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到*初的热处理效果;

    3、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢;

    冷壁水冷技术优点在于:1、无记忆,2、工艺重复性高,3、冷却速度快;

    4、反应腔室的设计,气体的进入口设计在wafer的表面,避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性;

    5、快速数字PID控温;

    6、热电偶配合高温计控温,测试样品的温度,控温精准;

    7、大气和真空工艺均适合,净化气体配针阀;

    8、*多5路工艺气体,配数字质量流量控制器;

    9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度;

    10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计,用于小样品测试;

    11、可选配分子泵,用于高真空测试;

    产品标准配置及规格参数:

    1、样品**尺寸:AS-One1004-inchAS-One150 6-inch

    2、温度范围:AS-One100室温~1250 ℃;(室温~1500 ℃可选)

    AS-One150室温~1200 ℃;(室温~1300 ℃可选)

    3、升温速率:AS-One100 0.1 ~250 /s

    AS-One150 0.1 ~200 /s

    4、温度控制:快速数字PID控制;

    5、热电偶:2K型热电偶;

    6、低温高温计温度范围:150~1100 ℃;

    7、高温高温计温度范围:400~1500 ℃;

    8、工艺气体气路配质量流量计

    9、配置真空泵及真空规