柜谷科技发展(上海)有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:日本
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  • 详细介绍:


    产品简介

    原子分辨率300 kV透射电子显微镜

    在精细加工技术已进入到亚纳米级水平的半导体,先进材料的研发领域,原子分辨率电子显微镜正在成为日益重要的,不可或缺的工具。

    为了满足这种高端需求,日立高新技术公司研发出了 H-9500透射电子显微镜,此款高分辨透射电子显微镜不仅具备实地验证过的各种优秀性能,而且配置了很多满足客户多种需求的独特功能,并采用了数字技术,便于用户及时快速获取原子水平的样品结构信息。

    用户友好型的操作系统

    和Windows®兼容的图形用户界面设计

    快速的样品分析,1分钟换样,5分钟内升高压至(300 kV)

    高稳定性,高分辨率透射电子显微镜

    点分辨率为0.18 nm,晶格分辨率为0.1 nm

    稳定可靠的5轴优中心测角台

    性能优异,可靠性高

    性能优异,可靠性高

    得到市场验证的10级加速器电子枪设计

    阻抗式高压电缆设计

    高档可选附件

    高档可选附件

    通用样品杆,在日立公司的TEM, FIB 和 STEM系统均可使用

    可为原子分辨率的动态研究提供加热,冷却和气体注入等多种样品杆

    备注:FPD(平板显示器)上的图像为模拟图像。

    规格

    项目 说明
    分辨率 0.10nm(晶格分辨率)

    0.18nm(点分辨率)

    加速电压 300kV、200kV*1、100kV*1
    放大倍率 连续放大模式 1,000~1,500,000×
    选区模式 4,000~500,000×
    低倍模式 200~500×
    电子枪 灯丝 LaB6(六硼化镧灯丝,直流加热)
    灯丝交换 自动升降式电子枪
    高压电缆 阻抗电缆
    照射系统 透镜 四级透镜
    聚光镜光阑 4孔可变
    探针尺寸 微米束模式:0.05 - 0.2 μm(4级)

    纳米束模式:1 - 10 nm(4级)

    电子束倾斜 ±3°
    成像系统 透镜 五级透镜
    聚焦 图像摇摆调整

    利用像散监视器进行正焦补偿

    聚焦优化

    物镜光阑 4孔可变光阑
    选区光阑 4孔可变光阑
    电子衍射 选区电子衍射

    纳米探针电子衍射

    会聚束电子衍射

    相机长度 250 - 3,000 mm
    样品室 样品台 5轴优中心海帕测角台
    样品尺寸 3mmΦ
    样品位置追踪 X/Y = ±1mm, Z = ±0.3 mm通过CPU控制马达驱动
    样品位置显示 自动驱动,自动跟踪
    样品倾斜 α = ±15°, β = ±15°(日立双倾样品台*2)
    防污染 冷阱
    烘烤功能 中温烘烤功能
    观察室 荧光屏 主屏:110 mmΦ 聚焦屏:30 mmΦ
    目镜 7.5×
    照相室 区域选择 整张照相/半张曝光
    胶片 25张(2套胶片盒)
    图形用户界面 操作系统 Windows XP
    显示器 19英寸显示器
    功能 数据库,测量,图像处理
    数码CCD 相机*3 相机耦合 透镜耦合
    有效像素 1,024 × 1,024 像素
    A/D 分辨率 12位
    真空系统 电子枪 离子泵:60 L/s
    镜筒 涡轮分子泵:260 L/s
    观察室/照相室 扩散泵:280 L/s

    前级泵:135 L/min × 3台

    • *1:放大倍率校准为可选项

      *2:可选件

      *3:本规格适用于可选的1,024 × 1,024像素的数码CCD相机

      以上规格是在加速电压为300 kV时的承诺