样品传输系统为模块式，便于组合

用途

● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理

● 清洗各类基板。

● 电子部品、材料表面改质。

● 去除有机物和自然氧化膜。

特点

● 体积小，节省空间。

● 选用小型腔体，反应效率高。

● 更容易嵌入生产线使用。

● 可通过操作面板自由切换等离子模式。

● 配备冷却反应台。

内槽

技术规格