弗莱贝格DDCOM（台式X射线晶体定向仪）采用Omega扫描方法，可以进行超高速的晶体定向测量，用于确定各种晶体的取向。

技术特点▼

l 方便快捷的晶圆检测

l 用于科研 & 研发，小型实验工厂

l 适用多种可测量材料

l 重量轻、成本低

l 手动处理样品

工作原理▼

从样品台底部测量

- 用于晶锭、晶圆、芯片的检测

- 控制切割、研磨、抛光等过程

超高速Omega扫描方法▼

l 比Theta扫描方法快200倍

l 自动评估三维完整的晶格方向

l 在5秒内测定整个晶体的方位

紧凑，用户友好和成本效益▼

l 易于移动和轻量级的桌面设计

l 样品处理方便，操作方便

l 空气冷却x射线管能耗低，运行成本低(无需水冷)

有效的质量控制流程▼

l 用于标准研究和工业工作流程

l 晶体方位设定及标示

l 预编程立方晶体参数

l 先进方便的软件

l 精度高，例如高至(1/100)°

控制切割、研磨和抛光▼

l 单晶的完全晶格取向

l 适用于各种尺寸和重量范围大的独特材料，如：2-12英寸的晶圆片和20公斤以下的晶锭

技术参数▼