束蕴仪器(上海)有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:德国
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  • 详细介绍:


    技术特点▼

    l 能够测量小至1mm的晶体到或更大的样品

    l 各种样品架及输送夹具,用于线锯、抛光等

    l 侧晶方向标记选项

    l 无水冷却

    l 精度可达0.01°(视晶体质量而定)

    l 确定单晶的完全晶格取向

    l 使用Omega扫描方法的超高速晶体定位测量

    l 气冷式X射线管,无需水冷

    l 适合于研究和生产质量控制

    l 手动操作(没有自动化选项)

    晶体的方向是由反射位置决定的

    可测量材料的例子▼

    ? 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP

    ? 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

    ? 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

    ? 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(蓝宝石),GaPO4, La3Ga5SiO14

    ? 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

    ? 可根据客户的要求进一步选料

    适合多种材料

    SDCOM的应用▼

    平面方向的标记和测量

    在晶圆片的注入和光刻过程中,需要平面或凹槽作为定位标记。切割过程中,晶片必须正确地对准晶圆片上易于切割的晶格面。因此,检查平面或缺口的位置至关重要

    为了确定平面或缺口的位置,就需要测量平面内的部件。由于Omega扫描法可以在一次测量中确定完整的晶体方位基于此便可以直接识别在平面方向或检查方向的单位或缺口。

    DDCOM通过旋转转盘,可以将任何平面方向转换成用户指定的特定位置。在必须定义平面方向的情况下,可以大大简化将标记应用到特定平面方向的过程