仪器简介：

SC7620溅射镀膜仪

英国Quorum的SC7620是一台结构紧凑、价格低廉的磁控离子溅射镀膜仪。如与镀碳附件(CA7625F)结合使用，为理想的低价位扫描电镜溅射、镀碳系统。SC7620耐用、易操作。SC7620适合预算有限、需要高质量镀膜、仪器易操作的用户。对于常规应用， SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控溅射头，带有易更换的圆片靶（标配为金/钯合金）。溅射头为方便的铰链式，并具有电安全互锁装置。高压电缆带有屏蔽功能，以预防意外损坏。通过氩气针阀调整真空度，以改变等离子电流；气体注入系统可预设等离子放电。

必备：推荐使用50 l/m 双级旋转机械泵（E5005F），随机配有油雾过滤器。如果想使用已有的旋转机械泵，确保它的容量为50 l/m 或更优是非常重要的。

可选附件 - 镀碳仪

SC7620可选配(CA7625F)镀碳装置，包括蒸发电源和碳丝头。镀碳附件很容易安装。用碳丝头替换铰链式连接的溅射头即可。为确保暴露在外的溅射头不被供电，安装了机电互锁装置，以确保溅射头断电。

SC7620定单信息

选择靶

金/钯合金作为标配。与金相比，颗粒更细。

金：通常为**。

铂：溅射颗粒尺寸比金和金/钯合金还要细小。溅射速率减慢，价格比金和金/钯合金昂贵一些。

银：与其它金属比较，银镀层容易取下，较适用于博物馆和法院的样品镀膜。

钯：用于X-射线微量分析时，常用来取代金、金/钯和铂。

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技术参数：

靶

所有的靶尺寸均为57mm直径x0.1mm厚（除非另外指定）

SC502-314A 金靶

SC502-314B 金/钯合金靶

SC502-314E 银靶

SC502-314F 钯靶

SC502-314A/0.2MM 金靶，厚度0.2mm

SC502-314B/0.2MM金/钯合金靶，厚度0.2mm

SC502-314C/0.2MM铂靶，厚度0.2mm

泵

E5005F 50 l/m双级旋转机械泵，带有油雾过滤器（115/230 50/60Hz）

E5006 替换的油雾过滤器

可根据要求选用其它的泵，可选用国产泵。

镀碳

CA7625F蒸碳电源220 - 240V

尺寸：340 x 355 x 375mm

头：带有碳丝A0819(1m)的碳丝头CA0762F

主要特点：

•价格低

•易操作

•磁控溅射头

•紧凑设计

•快速循环时间（典型为2-3分钟）

•可选碳丝蒸镀

•样品台高度可调

•快速换靶（标配为金/钯合金）

•符合所有新的安全标准：包括机电互锁，以确保使用镀碳附件时溅射头断电

•可靠耐用