生长操作器和制备台UHV 兼容。尺寸包括1’’到8’’。集成主挡板可选。操作器可以xyz三个方向运动。样品托集成在操作器上。可适用于氨气、氧气等腐蚀性环境。

●磁耦合旋转

●旋转精度高

●氧环境下兼容可选

●氨环境下兼容可选

●衬底加热温度可达1，400 ^oC

X-Y方向移动

精度0.001

重复性0.001

反冲 0

移动行程+/-0.5’’

Z方向移动

精度1mm 或¹/₃₂比例

重复性1mm 或¹/₃₂比例

反冲0

行程4.0’’

水平旋转

精度1.25^o

反冲<1 ^o

持续360 ^o旋转