此在线CL系统是监控MBE生长过程的理想选择。

CL可以放置在独立的观察窗位置。

通过RHEED枪以及敏感的光学探测系统，CL可以实时提供材料组分的准确信息，并进行实时光学分析。

部件有8''的前后移动容域度，避免与其他部件相互干扰。

CL通过电子激发技术调节电子能量，可以检测较深的薄膜表面信息。

与其配套的Windows软件操作系统，可以实现操作自动化及图谱分析。

特点

一个端口可以同时监测薄膜成分和光学分析

掺杂水平信息

部件可前后移动，使部件间相互干扰*小化

全电脑控制及分析