l可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术

l具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置

l在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制

l应用于透明层/薄膜

l兼容亮视野&暗视野; 光学DIC

l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选

l高稳定性