沈阳科晶自动化设备有限公司
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    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    VTC-200P真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。VTC-200P真空旋转涂膜机腔体不可抽真空,工作时利用真空盘吸附的方式将样品固定在载样盘上,该设备可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段。不同运行阶段设备转数不同,使设备缓慢提升速度至极限速度,有利于薄膜材料在样品表面均匀成膜,且不会过多浪费,节约材料。腔室的上盖可以对样品进行加热(可选功能),有利于粘稠度大的薄膜材料的涂覆过程的进行VTC-200P真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。

    产品名称

    VTC-200P真空旋转涂膜机

    产品型号

    VTC-200P

    安装条件

    本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水:设备配有进出水口

    2、电:AC220V50Hz,必须有良好接地

    3、气:不需要

    4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm承重50kg以上

    5、通风装置:需要

    主要特点

    1设有12组程序,每组包含6个运行阶段,每段增减速率设置范围:100—2000rpm/s,每段时间范围:0—60s

    2真空吸附方式固定样件,操作简便

    3、吸盘真空度可以达到-0.08MPa

    4、使用定位工具可将样件很容易放在中心位置以减少偏心造成震动飞片。

    5、根据样件规格可以配用不同的吸盘,更换方便简单。

    6、电机采用24V直流无刷电机,无级调速可靠性高,适应性强,维修与保养简单噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂厚度的一致性和均匀性。

    7、本机可置于手套箱内使用,但控制部分与真空泵需置于箱外。

    8、可在惰性气体气氛(如Ar、N2)下进行涂层。

    9、采用无油双杠真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。

    10、腔体通体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能。

    11、全英文操作系统。

    12、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止

    13、控制器采用单控制箱,液晶显示数值,更直观可靠。

    技术参数

    1、电源:220V 50HZ

    2电机功率:350W/24V

    3、转速:500rpm-6000rpm之间可调

    4.可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段,

    5、每段增减速率设置范围:100 rpm s—2000 rpm /s,每段时间范围:0-60s

    6、吸盘规格φ100mm

    7、本机可选配加热功能:加温范围RT-100%

    加热盖,水槽及吸盘采用聚丙烯材质

    温度单独控制,与主机程序控制无关联

    产品规格

    尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg

    标准配件

    1

    φ100mm真空吸盘

    1

    2

    O型胶圈

    1

    3

    滴液器

    1个

    4

    滴液器支架

    1个

    5

    中心定位器

    1个

    6

    无油真空泵

    1台

    可选配件

    进口移液器

    国产移液枪

    其它尺寸的真空吸盘