沈阳科晶自动化设备有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    产品简介:GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。

    产品型号

    GSL-1800X-ZF2蒸发镀膜仪

    安装条件

    本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

    2、工作台:落地式,占地面积2m2以上

    3、通风装置:需要

    主要特点

    1采用桌面小型一体化结构,将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计,体积与一台A3打印机相仿。

    2用电阻式双蒸发源结构,可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源,适应相应的镀膜材料。

    30.1%精度蒸发电源,并具有恒流输出功能,对蒸发舟能起到很好的保护作用。

    4选配石英晶体膜厚控制仪,在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

    5可将采集到的镀膜数据保存到U盘,便于用户分析控制(选配)。

    6机将所有功能设计成标准化模块,根据用户不同的需求对相应模块进行组合,以达到**化的镀膜环境,并便于用户维修与维护。

    7操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面,触屏操作,实现全图形化界面,易用易懂

    技术参数

    1电源:AC220V 1500W

    2、蒸发电源功率:1000W 5V 200A

    3、蒸发电极有效距离:44mm

    4、样品台:?120mm(可旋转)

    5、膜厚测量精度:0.1?0.01?(可选配高精度型)

    6、外接真空机组:国产分子泵机组(可选配扩散泵机组或进口分子泵机组)(不建议使用扩散泵)

    7、极限真空度:>3.0×10-3torr(扩散泵)、8.0×10-4Pa(分子泵)(不建议使用扩散泵)

    8、工作真空度:5.0×10-3torr

    9、真空接口:KF40

    10、使用环境:温度35℃,湿度<75%(相对湿度)不结露,海拔<1500m

    产品规格

     尺寸:440mm×240mm×260mm(不包括真空机组);重量:约47kg(不包括真空泵