沈阳科晶自动化设备有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:安徽
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  • 详细介绍:


    2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热熔炼炉系统,配备30KW感应加热器、8.5"216mm)石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架,**温度可以达到2000(使用时石英管内需通入保护性气体),是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的**选择。

    2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC操作视频

    产品型

    2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC

    安装条件

    本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

    2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地

    3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头)

    4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

    5、通风装置:需要

    主要特点

    1、采用多块氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。

    2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。

    3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。

    4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5

    torr

    5、迷你型浮子流量计精度为4%

    6、配有双级旋片机械泵(2L/s),可使石英管内真空度达到10E-2torr

    技术参数

     感应加热器

    1、工作电压:三相AC 380V 50Hz(需60A空气开关)

    2、工作电流:7Amps-70Amps(需100A空气开关)

    3、功率:**振荡功率30KW,**输入功率15KW

    4、输出频率:30KHz-110KHz

    5、占空比:80%

    6、感应线圈:内径?220 mm,高65 mm

    7、空气冷却:后风扇

     温度控制器及热电偶

    1、工作电压:AC208V-240V 单相

    2、控温精度:±3

    3、热电偶:C型,外径?1/4",长10"

    4、连续工作温度范围:1000-2000

    5、**升温速率:4/s1000-1200℃)、3/s1200-1500℃)、1/s-2/s1500-2000℃)

     石墨坩埚(易耗件)

    1、高纯石墨坩埚:外径?114mm,内径?100mm,高142mm

    2、**容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2,**质量为4kg(以铁标定)

    3、保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从内至外分别为石墨毡(可耐温2200℃)-氧化铝(可耐温1700℃)-

           温毡,总厚度为32mm

     石英管和密封法兰

    1、石英管:两端开口,外径?216mm,内径?208mm,长500mm

    2、顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰,装有防腐型真空计、不锈钢截止阀,设有11/4"的铠装接口(可插入热电

            偶至石英管内部,更准确地测量样品温度)

    3、底部法兰:设有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接

     

     水冷机

    1、温度:5-30

    2、水流速:>16L/min

    3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作

    4、水压:≥0.1MPa

    5、流量:≥5L/min

    (建议使用特定的冷却剂液以达到**的冷却效果)

     真空泵

     工作电压:AC208V-240V单相

     移动炉架

     尺寸:700mm×1000mm×700mm,钢框架结构,方便移动感应加热器和带法兰的石英管

    产品规格

     

    注意事项

     操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa的流动氩气下进行,流

     量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安

     全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。

    其他事项

     本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。