沈阳科晶自动化设备有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    产品简介:椭偏在线监测装备针对LCD、OLED等新型平板显示量光学薄膜质量控制需要,专门设计的在线薄膜测量系统。可适用于空气、N2、真空等环境条件,自动实现玻璃基板上各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的全片快速扫描测量。椭偏在线监测装备广泛应用于工业中新型光电器件行业所涉及的PI配向膜、光刻胶薄膜、ITO薄膜、有机发光薄膜、有机/无机封装薄膜大基片各种膜系结构厚度分布、光学常数分布的在线式全片快速扫描测量。

    产品型号

    PMS 椭偏在线监测装备

    主要特点

    1、支持产线大基片自定义多点扫描测量并输出报告

    2、支持**193-2500nm全波段分析测量

    3、支持多椭偏方案,多组合集成

    4、支持测头模块以及样件机台定制化

    技术参数

    测头规格

    穆勒矩阵椭偏测头

    光谱椭偏测头

    反射膜厚测头

    自动化程度

    可变/固定角+ mapping

    可变/固定角+ mapping

    垂直角+ mapping

    应用定位

    高阶高精度型

    高精度型

    通用型

    单次测量时间

    0.5-5s

    小于1s

    分析光谱

    380-1000m(支持扩展至193-2500nm)

    380-1100nm

    Mapping行程

    支持行程定制化

    支持样件尺寸

    安需定制化