沈阳科晶自动化设备有限公司
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    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,**流量为80ml/min精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装置加热成蒸汽,然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体,如ETOHSnCl4TiCl4RSiHCl3ZnC2H52,以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是**的研究设备。

    精密液体气相发生器操作视频

    产品型号

     精密液体气相发生器

    主要特点

    1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。

    2、采用30段程序化控温。

    3、气体流速通过浮子流量计控制。

    4、配有压力表,可测出液气混合罐中的气体压强。

    5、配有两个不锈钢针阀,以控制气体进出。

    6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。

    7、已通过CE认证。

    技术参数

    1、电源:单相AC208V-240V 50Hz/60Hz

    2、功率:1000W

    3、蠕动泵:精确度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可调)

    4、**工作温度:300

    5、控温精度:±1

    6、浮子流量计:0-2000ml/min(可调)

    7、出气口:外径1/4

    产品规格

     尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg

    可选配件

    加热带(缠绕在外接的管道上,以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。)