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产地:辽宁 在线咨询
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混气系统2路质子GSL-2Z是用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉可以放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀,可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
产品型号 | 混气系统2路质子GSL-2Z |
主要特点 | 精度高,运行稳定可靠,工作压力范围宽,可在高压或真空条件下工作,且操作使用方便。 |
技术参数 | 1、电源:185-245V 50Hz 2、**输出功率:18W 3、控制范围:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM 4、**压力:3×106 Pa 5、准确度:±1%FS 6、线性:±0.5-1.5% 7、重复精度:±0.2%FS 8、响应时间:气特性1-4s,电特性10s针阀:316不锈钢 9、工作压差范围:0.1-0.5MPa 10、压力表测量范围:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid) 11、混气罐:?80mm×120mm 12、截止阀:?1/4″,316不锈钢针阀 13、工作温度:5-45℃ |
产品规格 | 尺寸:600mm×600mm×650mm |