沈阳科晶自动化设备有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜**可以承重1000Lbs所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。

    产品型号

    GSL-LCD(控制面板为触摸屏)

    技术参数

    功能

    双通道

    三通道

    四通道

    五通道

    质子流量控制器

    工作温度:5~45oC

    **压力:3x106 Pa

    精度: ±1.5% FS

    线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

    流量范围:

    一路:1~199 SCCM

    二路:1~499 SCCM

    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    工作温度:5~45 oC

    **压力: 3x106 Pa

    精度: ±1.5% FS

    线性: ±0.5-1.5%F.S.

    重复精度: ±0.2%F.S.

    流量范围:

    一路: 0~100 SCCM

    二路: 1~199 SCCM

    三路: 1~499 SCCM

    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    工作温度: 5~45 oC

    **压力:3x106 Pa

    精度: ±1.5% FS

    线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

    流量范围:

    一路: 0~100 SCCM

    二路: 1~199 SCCM

    三路: 1~199 SCCM

    四路: 1~499 SCCM

    注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

    工作温度: 5~45 oC

    **压力: 3x106 Pa

    精度: ±1.5% FS

    线性: ±0.5-1.5%F.S.

    重复精度: ±0.2%F.S.

    流量范围:

    一路: 0~100 SCCM

    二路: 1~199 SCCM

    三路: 1~199 SCCM

    四路: 1~499 SCCM

    五-九路可按照客户要求定制

    产品规格

    外形尺寸:600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

    输入电源

    AC 220V/50Hz单相

    23W

    PLC触摸屏

    各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上

    RS485通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制

    机械压力表

    有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

    量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

    316不锈钢

    通气管道

    内部连接管道为1/4”不锈钢管

    外部通气管道为1/4”聚四氟管

    混气罐

    Φ80X120mm

    截止阀及配件

    316不锈钢针阀

    Φ1/4”不锈钢管