沈阳科晶自动化设备有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    产品简介:6单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6″的真空管式炉可以在不同气氛下,在≤5″的基片上生长多种薄膜。

    产品型号

    6单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S

    安装条件

    本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水:不需要

    2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

    3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头)

    4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重300kg以上

    5、通风装置:需要

    主要特点

    1、双层壳体,配有循环风冷系统。炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能。壳体温度<70℃。

    2、采用不锈钢真空密封法兰,使用双硅胶密封圈进行密封。

    3、设有双K型测温热电偶和一个额外的温度校准检测系统。

    4、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

    5、已通过CE认证。

    技术参数

    1、电源:AC220V8KW

    2、石英管:内径?152mm,长1016mm

    3、加热元件:Ni-Cr-Al电阻丝

    4、加热区域:600mm

    5、恒温区域:200mm

    6、工作温度:≤1100℃,连续工作400-1000

    7、升降温速率:≤10/min

    8、热电偶:双K

    9、控温精度:±1

    10、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵)

    11、铠装热偶检测口:1

    12、真空接口:KF40

    产品规格

    尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg

    标准配件

    1

    石英管

    1

    2

    氧化铝管堵

    2

    可选配件

    1、软件接口模块和PC

    2石英管

    3石英管堵

    4K型热电偶?6.35mm×915mm,用于对炉膛温度校准)

    5真空泵