沈阳科晶自动化设备有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:辽宁
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  • 详细介绍:


    产品简介:磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备,适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜,设备采用先进的磁控溅射镀膜技术,配备直流、射频磁控溅射系统,适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

    技术参数

    卷膜条件

    镀膜材料PET 和无纺布

    适用制膜:软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

    基材厚度125~300μm

    有效镀膜宽幅≤800 mm

    **卷绕直径Φ400 mm

    卷绕芯轴内径4 寸

    基材卷绕速度1~2 m/min

    基材卷绕张力30 ~200 N

    张力系统交流伺服

    溅镀方式单面

    真空条件

    极限真空(空载、洁净)8×10-4Pa

    恢复真空时间(空载、清洁)105Pa ~5×10-3Pa≤60 min

    系统真空漏率1.0×10-10 Pa.m3/s

    磁控溅射阴极数量3 个

    膜均匀性偏差≤±10%