联合日本科学与技术研究所（JST）开发，并且在多个国家注册了该项技术的**！

该设备用于大量制备纳米碳材料，如碳纳米管粉、碳纳米管薄膜和定向碳纳米管制备；采用封闭式管式炉，石英反应管直径50mm/70mm~110mm*1000mm，基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；气源包括氢气、氮气、甲烷、酒精等；

MPCVD是一种碳纳米管化学汽相沉积综合系统，具备一个水平石英管式炉，该系统可以大量稳定生产垂直对齐的CNT和各种粉末CNT。成熟稳定的工艺保证了制备质量和数量，也可用于三维形状的CNT制备。乙醇注入装置配备一个滴定法流量控制系统，气体输入端口配备三通道质量流量气体控制器(惰性气体，碳氢化合物气体，氢气)。

真空排气系统使得该系统能够在一个广泛的气压下运行，从大气到低压(10 Pa)，也可用作为热处理系统，例如：真空炉、大气炉、氮化炉。

相关产品：

1. 纳米颗粒制备系统；

2. ZnO纳米带制备系统；

3. 碳纳米管制备系统：用于高质量碳纳米管制备、纳米颗粒或薄膜制备、ZnO纳米带制备等；

4. 碳纳米管生产系统CVD：用于粉末碳纳米管、nanofiber， nanocoil， and film-type CNTs 等；

5. 催化剂薄膜制备系统：可沉积催化剂薄膜在各种材料上，用于高性能碳纳米管的指标；

技术特点：

*成熟的碳纳米材料制备工艺和丰富的经验

*乙醇和碳氢化合物作为碳源

*用于SWCNT 合成

*具备催化剂前体供应功能

*可以合成较长长度 ( ~500 um)垂直对齐的CNT和粉末状的CNT

*具备三通道气体质量控制器

*体积小，基座稳定

***温度：1200度；

*价格优惠；

*运行成本低；

技术参数：

基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；

粉末碳纳米管、nanofiber， nanocoil， and film-type CNTs 等；