巨力科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:其他国家
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  • 详细介绍:


    仪器简介:

    专业的PLD脉冲激光沉积系统(基片尺寸Φ2inch, 4inch, 6inch, 8inch、or flexible tape)供应商,凭借多年的娴熟的经验、雄厚的研发实力和生产能力,为不同客户提供专业脉冲沉积系统方案和优质的技术服务;并且已经被众多**高校、研究所和R&D企业所采用。

    同时也为客户提供同类设备:

    大面积电子束沉积系统:沉积区域70mmx200mm,适合金属、绝缘材料和介电材料等沉积;

    大面积溅射系统:沉积区域Max 75mm(W) x 310mm(L),适合金属、半导体、绝缘材料和介电材料等沉积;

    小型化溅射台:φ1inch~φ2inch基片,价格优惠,特别适合高校研究使用;

    技术参数:

    基片尺寸:Φ2inch, 4inch, 6inch, 8inch、or flexible tape material applied;

    靶尺寸:Size Φ1”inch to Φ8inch;

    靶数量:up to 6pcs;

    基片加热: up to 900℃;

    真空度:5x10-5 Pa,(On request,6x10-6 Pa or less) ;

    主要特点:

    靶Swing功能;

    激光束扫描功能;

    配备准分子激光器;

    可选功能:Load Lock Chamber

    RHEED分析功能

    多功能系统:Comibination with Sputter gun,Electron beam、IBAD