技术介绍：系统利用两个温度传感器同时通过MOCVD 设备的可视窗口扫描石墨盘，进行温

度测量。在单次测量时，传感器探头从石墨盘中心逐渐扫描到边缘，同时，整个盘以一定转

速在旋转，所以，可快速、轻易、精确地得到整盘的温度分布图；

应用范围：适用于Veeco K465i 和EPIK700 MOCVD，以及其他品牌类似系统，可实时快速对石墨盘的整体温度分布进行Mapping 测量，分析盘面温度的分布均匀性；有帮于客户调整加热区域，改善并优化工艺，以提高产品质量和器件性能。

技术指标及特点：

1. 适配MOCVD 型号：Veeco K465i 及EPIK700 以及其他品牌类似系统；

2. 扫描范围：全盘扫描，自定义部分区域扫描；

3. 温度范围：530℃-1250℃（可选更高）；

4. 温度分辨率：530-700℃：±1℃；700-1250℃：±0.3℃；

5. 扫描分辨率：用户自定义，通常设置为径向扫描步进：1mm，角度分辨率：0.3°或更高；

6. 扫描时间：与石墨盘旋转速度有关，例如：盘转速为600rpm，径向扫描步进为1mm 时，整盘扫描时间93s；可预设扫描开始时间或两次扫描时间间隔，以便与薄膜生长状态相关联；

7. 温度分析功能：温度2D 或3D 直观图形显示及统计分析，定义的半径或直径上的径向温度分布，指定半径上的温度分布并与RT 数据进行比对，目标区域放大分析，Crosshair 径向分析，石墨盘每个pocket 温度统计分析（**值，*小值、平均值及标准偏差）。

8. 温度校准：既可校准到已知温度设定点，也可使用kSA Spectra Temp 温度测温工具校准到**温度。