科艺仪器有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:法国
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  • 详细介绍:


    倾斜平移台采用了2个APA®致动器,可以产生两种类型的运动:

    ?Z当两个致动器同步致动时,轴运动(平移)可达80μm

    ?当两个致动器相反致动时,ΘX运动(平移)可达+/- 0.6°

    倾斜平移台TT60SM基于APA60SM而设计,配备应变计以消除回程差。如果只要求倾斜运动,仅需要一个通道。TT60SM要求使用推拉式驱动器。

    参数

    单位

    TT60SM

    型号

    V- TT60SM

    备注

    -

    传感器

    SG

    主动轴

    TZ,RX

    **空载位移[Tz]

    um

    80.0

    角位移[Rx]

    mrad(+/-)

    11.00

    Y方向的**面外位移

    um

    25.0

    电压范围

    V

    -20…150

    硬度

    N/um

    2.0

    高度(Z 轴)

    mm

    18.0

    宽度(Y 轴)

    mm

    13.0

    长度(X 轴)

    mm

    25.0

    纵向分辨率[Tz]

    nm

    0.8

    角度分辨率[Rx]

    urad

    0.1

    质量

    g

    65

    空载共振频率(在致动方向)

    Hz

    3000

    响应时间

    ms

    0.17

    电容 (每个电气接口)

    uF

    1.55

    机械接口(有效负载)

    平坦表面 2.5 *8mm2

    机械接口(框架)

    2 M2螺纹孔

    电气接口

    4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long withФ1 banana plug