详细介绍：

Ushio手动光刻设备UPE-1102LU主要应用于LED芯片（蓝白光，红黄光）研发和生产当中，并且对全自动生产线所产生的LED芯片破片有辅助生产和处理的功能。同时也能对应一些较为特殊材质的芯片如：GaAs，SiO2的研发及生产。

特点：

*可调整光刻间距，**限度的避免光刻板被污染。

*操作简易，任何操作人员都能在短时间内熟练掌握。

*产能高于一般同行业竞争对手，**可达80WPH；

*可调整光刻时间，调整光强，并可根据所需累计光量值自动补偿光刻时间（无需人工调整）。

*更具客户端的光刻工艺，可预先设定光刻频道，可**限度避免人为误操作的产生。

应用：

*LED，半导体的芯片生产和研发。