Apex® RF電源系統产品中心

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Apex® RF電源系統

通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統採用複雜的射頻轉換技術，在適合於反應室安裝的模組化設計中提供增大的產品和製程可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或資料存儲製造以電漿為基礎的薄膜製程中表現優異。