日本Nikon I线步进式光刻机NSR-I12

技术指标及功能

广泛应用于生产线，是6英寸，8英寸等主力I线生产机台，适用于I线光刻胶的曝光，操作简单，曝光精度准，解析力**可达0.35UM （350NM）