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俄罗斯Optosystem准分子激光器CL7000
准分子激光器： CL7000， 俄罗斯 Optosystem
准分子激光器是传统的气体激光器，由于波长短（紫外），短脉冲宽度，高脉冲能量，是激光器家族不可替代的品种！应用上，准分子激光器在脉冲沉积镀膜（PLD），光纤光栅刻写，LASIK，光刻，微纳加工等方面占主导的地位。
CL7000系列技术参数：
型号 | ArF | KrF | XeCl |
波长 | 193 nm | 248 nm | 308 nm |
管材料 | 陶瓷 | ||
预电离 | 火花 | ||
标准脉冲能量 | 250 mJ | 400 mJ | 300 mJ |
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100 | 5 W 10 W 20 W | 8 W 20 W 35 W | 6 W 15 W 25 W |
**重复频率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 20 Hz 50 Hz 100 Hz | ||
脉宽 | 17 ns | 20 ns | 20 ns |
脉冲稳定度 | sigma < 2% | ||
光斑大小 | 6 x 20 mm | 6 x 21 mm | 7 x 22 mm |
光束发散角 | 1.5 x 4.5 mrad | ||
时间抖动 | < 2 ns | ||
尺寸， (重量) | 1350L x 375W x 710H мм (170 kg) | ||
冷却 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 风冷 水冷（水流< 1L/min） 水冷（水流< 3L/min） | ||
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100 | 220V / 50Hz， 10А， 不超过1500 VA 220V / 50Hz， 10А， 不超过 1800 VA 380/220V， 50Hz， 10А， 不超过 3500 VA | ||
气体 | 1 premix cylinder | ||
控制接口 | RS 232， DOS/Windows | ||
可选功能：
1 、1000Kz型号可选
2、窄线宽型号可选，线宽0.03cm-1
3、 F2，157nm型号可选
特点：
1、陶瓷放电激光腔设计，长寿命
2、激光腔，电子系统一体化设计
3、功率稳定运行模式
4、预混合供气，使用简单
5、计算机控制
应用 ：
1、准分子激光脉冲沉积镀膜
2、准分子激光光栅光纤（FBG）刻写
3、准分子激光材料加工，微纳制造，光刻
准分子激光激光沉积镀膜（PLD）系统示意图
准分子激光器光纤光栅（FBG）刻写原理图
