深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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  • 参考报价:电议
    型号:
    产地:德国
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  • 详细介绍:


    产品详情

    日本JEOL截面样品制备装置IB-19520CCP 

    IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。配有传送机构,在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。

    产品规格:

    离子加速电压

    2 ~ 8 kV

    离子束直径

    500 um( FWHM)

    研磨速率

    500 um(两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um)

    样品架冷却达到的温度

    -120 ℃

    样品冷却持续时间

    8小时以上

    制冷箱容量

    约1升

    承载样品的**尺寸

    11mm(长) × 8mm(宽)× 3mm(厚)

    样品台移动范围

    X轴:±6mm、Y轴:±2.5mm

    固定样品方法

    夹式

    样品加工摆角

    ±30°

    加工观察用相机的倍率

    约20~100倍(6.5寸显示器上)

    机械泵: 150 mm(宽) × 427 mm(长) × 230 mm(高)、约16 kg

    空气隔离系统

    转移舱

    空气隔离法

    将舱内设定成氩气气氛,盖上转移舱盖子,将样品封在舱里。

    操作方法

    触控屏、6.5寸显示器

    使用气体

    氩气(用质量流量控制器控制流量)

    压力测试

    潘宁真空计

    主抽真空系统

    涡轮分子泵

    辅助抽真空系统

    机械泵

    尺寸、重量

    主机:约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg

    机械泵:约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg

    选配件

    大型旋转样品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 

    基座样品架 (IB‐11560MBSH) 

    大型样品架(IB-11570LSH)  

    喷碳样品架(IB-12510CCH)

    电源

    单相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA

    接地线

    独立地线(100 Ω以下)

    氩气

    使用压力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm2)

    纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备)

    金属配管连接口:JISB0203 RC1/4

    室温

    15~25 ℃

    湿度

    60%以下

    产品特点:

    ★ 冷却的效果  样品:镀锌钢板

    · 可提供500μm/h(8KV/2小时的平均值)的研磨速率。

    · ※ 通常加工(无冷却)时,铁和锌的接合面上能够观察到间隙,而冷却加工时则没有间隙

    ·★ 使用温度控制系统(选配件)冷却  样品:硅晶片接合面

    · ※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形,出现了很大的间隙。 -150 ℃时,冷却过度,能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙,但通过温度控制冷却则没有间隙。

    ·★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备

    ·

    · ★ 进程监控功能

    · 截面加工状态可通过CCD相机实时监控,倍率还可调整。

    ·★ 防止充放电的喷镀功能

    · 备有离子束溅射功能(选配项)

    可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。

    *适合于象EBSD等需要花样识别等情况。

    · ★ 平面离子减薄样品架

    · 以小角度的离子束低角度照射样品,达到清除表面污垢、平滑表面等效果。

    另外也非常适合于选择性蚀刻。

    · ★ 截面样品制备单元

    · 安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。

    可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。